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雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測量。該儀器設(shè)計符合單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國A.S.T.M標準。利用電流探針、電壓探針的變換，進行兩次電測量，對數(shù)據(jù)進行雙電測分析，自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響，它與單電測直線或方形四探針相比，大大提高精確度，特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。
四探針電阻率測試儀
方塊電阻范圍：10-2～2×105Ω/□
2.電阻率范圍：10-3～2×106Ω-cm
3.測試電流范圍：0.1μA，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA
4.電流精度：±0.3%讀數(shù)
5.電阻精度：≤0.5%
6.顯示讀數(shù)：液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、電導(dǎo)率。
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